潔凈室
潔凈室概述
潔凈室?guī)缀跤糜诿總€行業(yè)，在這些行業(yè)中小顆粒會對生產(chǎn)過程產(chǎn)生不利影響。它們的大小和復雜性各不相同，并廣泛用于半導體制造，制藥，生物技術(shù)，醫(yī)療設(shè)備和生命科學等行業(yè)，以及航空航天，光學，軍事和能源部常見的關(guān)鍵過程制造。
潔凈室檢測是指在給定的任何封閉空間中采取措施以減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù)，例如溫度，濕度和壓力。關(guān)鍵組件是高效微粒空氣（HEPA）過濾器，該過濾器用于捕集0.3微米及更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣均通過HEPA過濾器，在某些情況下，需要嚴格的清潔性能時，應使用超低顆粒空氣（ULPA）過濾器。
選擇在潔凈室工作的人員接受了污染控制理論的廣泛培訓。他們通過氣閘室，空氣淋浴間和/或更衣室進入和離開潔凈室，并且他們必須穿著專門設(shè)計的衣服，以捕獲皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。
潔凈室衣物用于防止物質(zhì)從穿戴者身上釋放出來并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆粒或纖維，以防止人員污染環(huán)境。這種人員污染可能會降低半導體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能，并且可能導致醫(yī)療人員與醫(yī)療行業(yè)患者之間的交叉感染。
潔凈室氣流原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來保持無顆粒的空氣。層流或單向氣流系統(tǒng)將經(jīng)過過濾的空氣以恒定的氣流向下引導。通常在100％的天花板上采用層流氣流系統(tǒng)，以保持恒定的單向氣流。層流標準通常在便攜式工作站（LF通風櫥）中規(guī)定，并在ISO-1至ISO-4分類的潔凈室中強制執(zhí)行。
正確的潔凈室設(shè)計應涵蓋整個空氣分配系統(tǒng)，包括為下游提供充足的回風的規(guī)定。在垂直流動室中，這意味著在該區(qū)域的周圍使用低壁的空氣回流。在水平流應用中，需要在過程的下游邊界使用回風。使用天花板安裝的回風與正確的潔凈室系統(tǒng)設(shè)計相矛盾。
潔凈室分類
潔凈室按空氣清潔程度分類。在美國的聯(lián)邦標準209（A至D）中，在1立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5µm的顆粒數(shù)，并將此計數(shù)用于對潔凈室進行分類。新的209E版本標準也接受此度量標準術(shù)語。聯(lián)邦標準209E在國內(nèi)使用。較新的標準是來自標準組織的TC 209。兩種標準均根據(jù)實驗室空氣中發(fā)現(xiàn)的顆粒數(shù)量對潔凈室進行分類。潔凈室分類標準FS 209E和ISO 14644-1要求進行特定的顆粒計數(shù)測量和計算，以對潔凈室或潔凈區(qū)域的潔凈度等級進行分類。在英國，英國標準5295用于對潔凈室進行分類。該標準將被BS EN ISO 14644-1取代。
潔凈室是根據(jù)每單位空氣中允許的顆粒數(shù)量和大小進行分類的。較大的數(shù)字（例如“ 100級”或“ 1000級”）是指FED_STD-209E，表示每立方英尺空氣允許的尺寸為0.5 µm或更大的顆粒數(shù)。該標準還允許插值，因此可以描述“ 2000級”。
較小的數(shù)字表示ISO 14644-1標準，該標準每立方米空氣允許的0.1 µm或更大的粒子數(shù)的十進制對數(shù)。因此，例如，ISO 5級潔凈室每立方米多可容納105 = 100,000個顆粒。
FS 209E和ISO 14644-1都假定粒徑和濃度之間的對數(shù)關(guān)系。因此，不存在零粒子濃度的情況。普通房間的空氣約為1,000,000級或ISO 9。
ISO 14644-1潔凈室標準
類 | 大顆粒/ m 3 |
| |||||
> = 0.1微米 | > = 0.2微米 | > = 0.3微米 | > = 0.5微米 | > = 1微米 | > = 5微米 | ||
ISO 1 | 10 | 2 |
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ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| 1類 |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |
| 10級 |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100級 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1,000級 |
ISO 7 |
|
|
| 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000級 |
ISO 8 |
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| 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 100,000級 |
ISO 9 |
|
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| 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室內(nèi)空氣 |
BS 5295潔凈室標準
| 大顆粒/ m 3 | ||||
類 | > = 0.5微米 | > = 1微米 | > = 5微米 | > = 10微米 | > = 25微米 |
1類 | 3,000 |
| 0 | 0 | 0 |
2級 | 30萬 |
| 2,000 | 30 |
|
3級 |
| 1,000,000 | 20,000 | 4,000 | 300 |
4級 |
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| 20,000 | 40,000 | 4,000 |
潔凈室服務
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